Automatische Zuordnung von Eigenmoden mikromechanischer Drehratensensoren aus Simulation und Messung

Abschlusspräsentation Masterarbeit

Christian Budak

Robert Bosch GmbH Reutlingen/ Universität Freiburg

Monday, April 23, 2018, 14:00

"Room 02-012, Georges-Köhler Allee 102, Freiburg 79110, Germany"

Die Masterarbeit untersucht die automatische Zuordnung von Eigenmoden mikromechanischer Drehratensensoren aus Simulation und Messung. Durch das Messen von Resonanzfrequenzen der beweglichen Sensorstruktur wird ein Vergleich zwischen experimentell ermittelten und simulierten Eigenfrequenzen ermöglicht. Korrelationsberechnungen zwischen den gemessenen Bewegungsformen und den simulierten Eigenmoden bestimmen dabei die Zuordnungen. Mithilfe der bestimmten Abweichungen zwischen den gemessenen und simulierten Eigenfrequenzen werden der Kantenverlust und die Dicke der epitaktischen Polysiliziumschicht geschätzt. Diese zwei bestimmenden Prozessparameter können fertigungsbedingt unterschiedlich stark streuen und beeinflussen das Verhalten von Drehratensensoren. Um Korrelationsberechnungen zwischen experimentellen und simulierten Eigenmoden zu ermöglichen, werden die Messdaten zunächst durch eine Koordinatentransformation manipuliert und die gemessenen Eigenmoden extrahiert. Die Implementierung eines MATLAB-basierten Tool mit grafischer Benutzeroberfläche fasst die notwendigen Schritte für eine automatische Zuordnung der Eigenmoden zusammen. Weiterhin ermöglicht das Tool zusätzliche Untersuchungen der Korrelationen und Optimierungen der Prozessparameter.